ការបញ្ជាក់ | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (ផ្លូវដែកផ្ទុកខ្យល់) |
ប្រភេទម៉ូទ័រ | ម៉ូទ័រគ្មានជាតិដែកបីដំណាក់កាល | ម៉ូទ័របំពងសំឡេង + |
ដំណោះស្រាយ | បរិមាណឌីជីថល 100nm លំនាំដើម | 1vpp ចុះទៅ 5nm |
ម៉ូទ័ររុញ | បន្ត 60N / កំពូល 210N | បន្ត 60N / កំពូល 210N |
ទំហំជំហានអប្បបរមា [nm] | 200nm | 100nm |
ការធ្វើដំណើរ [mm] | ២០០ × ២០០ | 10 |
ភាពអាចធ្វើម្តងទៀត [um] | ±0.3 | |
ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង [um] | ±1 | ± 0.5 |
ភាពរាបស្មើ [អឹម] | 10 ម | 5 ម |
ភាពត្រង់ [អឹម] | 1 ម | 1 ម |
ល្បឿនអតិបរមា [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
សមត្ថភាពផ្ទុក [គីឡូក្រាម] | 5 គីឡូក្រាម (អ័ក្ស Z ជាមួយនឹងទំងន់តុល្យភាពកម្លាំងថេរ pneumatic) |