E-UMS130-X ដំណាក់កាលបកប្រែម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរទាប ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ដ្រាយផ្ទាល់ជាមួយនឹងការវាស់វែងទីតាំងផ្ទាល់
ការអនុវត្ត Nanopositioning និងល្បឿនខ្ពស់ក្នុងការរចនាដំណាក់កាលបង្រួម តម្លៃសមរម្យ
● ជួរធ្វើដំណើរលីនេអ៊ែរ 60, 110, និង 160 មម;
● ចលនាលីនេអ៊ែរបន្ថែមអប្បបរមាដល់ 10 nm;
● ជម្រើសកម្មវិធីបំលែងកូដទីតាំងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖ ការវាស់បន្ថែម និងការវាស់វែងដាច់ខាត
● ទំហំបង្រួម: 135 មម × 45 មម ផ្នែកឆ្លងកាត់;
● មគ្គុទ្ទេសក៍ roller ឆ្លងកាត់សម្រាប់សមត្ថភាពផ្ទុកខ្ពស់និងដំណើរការធរណីមាត្រខ្ពស់;
● ម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ 3 ដំណាក់កាលដែលគ្មានជាតិដែក